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中微董事长尹志尧:十四年前毅然回国,打造“中国芯高端装备”

来源于 数码通 2023-10-05 12:20

10月19日,董事长与来湖南考察的中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微”)首席执行官尹志尧表示,此行将重点关注湖南集成电路为装备材料产业发展提供建议,探讨交流合作前景和机遇。 “湖南发展集成电路装备材料产业有良好的基础,我们愿意加强合作,帮助湖南在这一领域实现跨越式发展。我注意到目前国内芯片制造有投资产业势头过大。因此,湖南集成电路产业的发展可以向半导体设备和材料发展的方向发展。”

十四年前,他毅然回国,打造“中国核心高端装备”

集成电路产业是数字信息产业的基石。它位列十大重点发展领域之首,对国民经济发展和国家信息安全发挥着至关重要的作用。其中,高端半导体装备是集成电路芯片产业的基础。然而,集成电路设备和技术长期被国外大公司垄断。

1984年,获得加州大学洛杉矶分校物理化学学位的尹志尧前往硅谷工作。经过20年的不断努力,他成长为几代等离子刻蚀技术和设备的主要推动者。他领导和参与开发的蚀刻设备几乎占世界总量的一半。

2004年,60多岁的尹志尧毅然带领团队从美国回到中国,在上海浦东创办了中微。十四年来,他带领的团队研发了多款刻蚀机和化学薄膜设备,其性能和性价比均已进入全球前三名。

正是尹志尧领导的技术团队突破了核心技术垄断,首次在中国本土生产出了达到国际最先进水平的高端集成电路装备。

展现发展“两弹一星”的信心和决心

所谓芯片,就是含有集成电路的硅片。制造一个小芯片涉及50多个学科和数千道工序。 “芯片制造是人类历史上最复杂的工艺,其难度堪比‘两弹一星’。”尹志尧做了一个形象的比喻。人类头发的平均直径为0.07毫米,7纳米就是人类头发的直径。笔尖的万分之一。如果用这么小的笔尖,可以在一粒米上写出一亿个汉字。

“如此规模的加工难度很大,关键要依靠光刻机和等离子刻蚀机。”尹志尧表示,没有微加工设备就造不出芯片,而中微则是微加工的高端装备公司。

如今,中微自主研发的等离子、硅通孔等刻蚀设备已广泛应用于国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上。其研发的生产设备已成为世界最尖端的。技术对等。随着产业的快速发展,中国微电子也在积极布局,加快发展步伐。

“我注意到,目前国内芯片制造业呈现出过度投资的趋势,因此湖南集成电路产业的发展可以向半导体设备和材料的研发方向发展。”为湖南“弯道超车”建言,尹志尧建议加大资金、人才、政策等方面支持力度,展现发展“两弹一星”的信心和决心,为发展创造良好条件的相关产业。同时,他还表示愿意与湖南有关方面深化交流合作。 ,共同推动湖南高端集成电路装备自主研发。

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