三坐标测量机将被测件放入测量范围内，可以准确测出测件表面的点在空间的三个坐标位置的数值，经过三坐标数学计算的方法得出其形状、位置公差及其他几何量数据。三坐标测量机一般由主机(包括光栅尺)、电气系统、软件系统及测头组成。
